Ko SemiceraSilicon Carbide Epitaxykua hangaia hei whakatutuki i nga tono kaha o nga tono semiconductor hou. Ma te whakamahi i nga tikanga whakatipu epitaxial matatau, ka whakarite maatau ka whakaatuhia e ia paparanga carbide silicon te kounga o te karaihe, te rite, me te iti o te kiato koha. He mea nui enei ahuatanga mo te whakawhanake i nga hikohiko hiko teitei, he mea nui te pai me te whakahaere waiariki.
Ko teSilicon Carbide EpitaxyKo te tukanga i Semicera kua arotauhia ki te whakaputa i nga paparanga epitaxial me te tino matotoru me te mana doping, kia rite tonu te mahi puta noa i nga momo taputapu. He mea nui tenei taumata o te tino tika mo nga tono i roto i nga waka hiko, nga punaha pūngao whakahou, me nga whakawhitinga korero-nui, he mea nui te pono me te whai hua.
Ano, ko Semicera'sSilicon Carbide Epitaxyhe pai ake te kawe i te waiariki me te ngaohiko pakaru teitei ake, ka pai ake te whiriwhiri mo nga taputapu e mahi ana i raro i nga ahuatanga tino kino. Ka whai waahi enei taonga ki te roa ake o te oranga o te taputapu me te whakapai ake i te pai o te punaha, ina koa ki nga taiao-nui me te wera nui.
Ka whakarato ano hoki a Semicera i nga whiringa whakaritenga moSilicon Carbide Epitaxy, e tuku ana i nga otinga whakangao e tutuki ana i nga whakaritenga taputapu motuhake. Ahakoa mo te rangahau, mo te whakaputa nui ranei, ka hangaia o maatau paparanga epitaxial hei tautoko i nga reanga o muri mai o nga mahi hou o te semiconductor, e taea ai te whakawhanaketanga o nga taputapu hiko kaha ake, pai, me te pono.
Ma te whakauru i nga hangarau hou me nga tikanga whakahaere kounga kaha, ka whakarite a Semicera i a maatauSilicon Carbide EpitaxyKo nga hua kaore e tutuki engari ka nui ake i nga paerewa ahumahi. Na tenei whakapumautanga ki te hiranga ka waiho a maatau paparanga epitaxial hei turanga pai mo nga tono semiconductor matatau, e para ana i te huarahi mo nga pakaruhanga o te hikohiko hiko me te optoelectronics.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakamutu mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga karekau he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
