Whakaahuatanga
Ka whakaratohia e to maatau kamupenepaninga SiCnga ratonga tukatuka ma te tikanga CVD i runga i te mata o te kauwhata, te karamu me etahi atu rawa, kia tauhohe ai nga hau motuhake kei roto i te waro me te silicon i te pāmahana teitei kia whiwhi ai i nga ngota ngota SiC parakore teitei, nga ngota ngota ka tuu ki te mata o tewhakakikoruatiarauemi, hanga paparanga tiaki SIC.
Ko nga ahuatanga o nga upoko ua SiC e whai ake nei:
1. Te parenga waikura: He pai rawa atu te waikura o te rauemi SiC me te kaha ki te tu atu i te horo o nga momo wai matū me nga otinga, he pai hoki mo nga momo tukatuka matū me nga tukanga maimoatanga mata.
2. Pumautanga teitei o te pāmahana:Puha SiCKa taea e ia te pupuri i te pumau o te hanganga i roto i nga taiao teitei o te wera me te pai mo nga tono e hiahia ana ki te maimoatanga teitei.
3. Te rehu rite:Puha SiCKo te hoahoa he pai te mahi whakahaere rehu, ka taea te whakatutuki i te tohatoha wai rite me te whakarite kia hipokina te wai maimoatanga ki runga i te mata o te whaainga.
4. Te kaha o te whakakakahu: He nui te pakeke o te rauemi SiC me te mau atete, ka taea te tu atu ki te whakamahi mo te wa roa me te waku.
Ko nga upoko kaukau SiC e whakamahia nuitia ana i roto i nga tukanga maimoatanga wai i roto i te hangahanga semiconductor, te tukatuka matū, te paninga mata, te hikohiko me etahi atu mara ahumahi. Ka taea e ia te whakapumau, te rite me te pono o te rehu o nga paanga ki te whakarite i te kounga me te rite o te tukatuka me te maimoatanga.
Nga waahanga matua
1. Te teitei o te pāmahana aukati waiora:
he tino pai tonu te parenga waiora i te wa e teitei ana te pāmahana ki te 1600 C.
2. Te parakore teitei: i hangaia e te waipara matū matū i raro i te ahua o te maota o te pāmahana teitei.
3. Atete te horo: te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.
4. Te aukati waikura: te waikawa, te kawakore, te tote me nga reagents waro.
Nga Whakatakotoranga Matua o te Whakakikorua CVD-SIC
| Nga Taonga SiC-CVD | ||
| Hanganga Kiriata | FCC β wāhanga | |
| Kiato | g/cm³ | 3.21 |
| Te pakeke | Vickers pakeke | 2500 |
| Rahi witi | μm | 2~10 |
| Te Maamaa | % | 99.99995 |
| Raukaha Wera | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Te Mahana Whakararo | ℃ | 2700 |
| Te Kaha Felexural | MPa (RT 4-point) | 415 |
| Young's Modulus | Gpa (4pt piko, 1300℃) | 430 |
| Roha Ngawha (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Te kawe werawera | (W/mK) | 300 |
