Ko te Kiriata Silicon na Semicera he mea tino pai, he mea hanga-hangaia ki te whakatutuki i nga whakaritenga kaha o te umanga semiconductor. He mea hanga mai i te hiraka parakore, ko tenei otinga kiriata angiangi e tuku ana i te riterite pai, te parakore teitei, me nga taonga hiko me te waiariki. He pai mo te whakamahi i roto i nga momo tono semiconductor, tae atu ki te hanga o Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, me te Epi-Wafer. Ko te Kiriata Silicon a Semicera e whakapumau ana i nga mahi pono me te riterite, na te mea he mea tino nui mo nga miihini miihini matatau.
Kounga Kairangi me te Mahinga mo te Hanga Semiconductor
Ko te Kiriata Silicon a Semicera e mohiotia ana mo tona kaha miihini nui, te pumau o te waiariki, me te iti o nga reeti koha, he mea tino nui enei katoa ki te hanga i nga miihini hiko teitei. Ahakoa i whakamahia i roto i te hanga o nga taputapu Gallium Oxide (Ga2O3), AlN Wafer, Epi-Wafers ranei, ka whakaratohia e te kiriata he turanga kaha mo te whakahekenga kiriata angiangi me te tipu epitaxial. Ko tana hototahitanga ki etahi atu taputapu semiconductor penei i te SiC Substrate me te SOI Wafers ka whakarite kia uru pai ki nga tikanga whakangao o naianei, e awhina ana ki te pupuri i nga hua teitei me te kounga o nga hua.
Nga tono i roto i te Ahumahi Semiconductor
I roto i te ahumahi semiconductor, ka whakamahia te Kiriata Silicon a Semicera i roto i te whānuitanga o nga tono, mai i te hanga o Si Wafer me SOI Wafer ki etahi atu whakamahinga motuhake penei i te SiN Substrate me te Epi-Wafer hanga. Ko te tino ma me te tino tika o tenei kiriata he mea nui ki te hanga i nga waahanga matatau e whakamahia ana i roto i nga mea katoa mai i nga miihini miihini me nga iahiko whakauru ki nga taputapu optoelectronic.
Ko te Kiriata Silicon he mahi nui ki roto i nga tukanga semiconductor penei i te tipu epitaxial, te hononga angiangi, me te whakatakoto kiriata angiangi. Ko ona taonga pono he mea tino nui mo nga umanga e hiahia ana ki nga taiao tino whakahaere, penei i nga ruuma horoi i roto i nga papanga semiconductor. I tua atu, ka taea te whakauru i te Kiriata Silicon ki roto i nga punaha rīpene kia pai te whakahaere me te kawe i te wafer i te wa e whakaputa ana.
Te Whakapono mo te Waa-roa me te Tonu
Ko tetahi o nga painga nui o te whakamahi i te Kiriata Silicon a Semicera ko tona pono mo te wa roa. Na te pai o te mauroa me te kounga o te kounga, ko tenei kiriata e whakarato ana i te otinga pono mo nga taiao whakaputa nui. Ahakoa e whakamahia ana i roto i nga taputapu semiconductor tino tika, i nga tono hiko matatau ranei, ka whakarite a Semicera's Silicon Film ka taea e nga kaihanga te whakatutuki i nga mahi teitei me te pono puta noa i te tini o nga hua.
He aha te whiriwhiri i te kiriata Silicon a Semicera?
Ko te Kiriata Silicon mai i Semicera he mea tino nui mo nga tono tapahi-mata i roto i te umanga semiconductor. Ko ona ahuatanga tino mahi, tae atu ki te tino pai o te waiariki, te maatanga teitei, me te kaha miihini, ka waiho hei whiringa pai mo nga kaihanga e whai ana ki te whakatutuki i nga paerewa teitei o te hanga semiconductor. Mai i te Si Wafer me te SiC Substrate ki te hanga o nga taputapu Gallium Oxide Ga2O3, ka tukuna e tenei kiriata te kounga me te mahi.
Ma te Kiriata Silikoni a Semicera, ka taea e koe te whakawhirinaki ki tetahi hua e tutuki ana i nga hiahia o te hanga semiconductor hou, e whakarato ana i te turanga pono mo nga reanga hikohiko e whai ake nei.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakaoti mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga kaore he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
