Ko Semicera's Silicon Nitride Ceramic Substrate e tohu ana i te tihi o te hangarau rauemi matatau, e whakarato ana i te kawe wera me nga taonga miihini pakari. He mea hanga mo nga tono tino mahi, he pai rawa atu tenei tïpako ki nga taiao e hiahia ana ki te whakahaere waiariki pono me te tika o te hanganga.
Ko o tatou Silicon Nitride Ceramic Substrates he mea hoahoa ki te tu atu i nga wera nui me nga ahuatanga kino, he mea pai mo nga taputapu hiko teitei me te teitei. Ko ta raatau whakahaere wera nui ka whakarite kia pai te wera o te wera, he mea nui mo te pupuri i te mahi me te roa o nga waahanga hiko.
Ka kitea te pono o Semicera ki te kounga i roto ia Silicon Nitride Ceramic Substrate ka mahia e matou. Ka hangaia ia tïpako ma te whakamahi i nga tikanga hou o te toi hei whakarite kia rite tonu te mahi me nga hapa iti. Ko tenei taumata teitei o te tino tika e tautoko ana i nga hiahia o nga umanga penei i te motuka, aerospace, me te waea.
I tua atu i o raatau painga wera me te miihini, ka tukuna e a maatau taputapu nga waahanga whakamaarama hiko, e whai waahi ana ki te pono o o taputapu hiko. Ma te whakaiti i te wawaotanga hiko me te whakarei ake i te pumau o nga waahanga, he mahi nui a Semicera's Silicon Nitride Ceramic Substrates ki te arotau i nga mahi a te taputapu.
Ko te kowhiri i te Taapapa Karamiki Silicon Nitride a Semicera ko te whakangao ki tetahi hua e tuku ana i nga mahi teitei me te mauroa. I hangaia o maatau taputapu ki te whakatutuki i nga hiahia o nga tono hiko teitei, me te whakarite kia whai hua o taputapu mai i nga hangarau hangarau hou me te tino pono.
Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
Tawhā Kiriata | |||
Polytype | 4H | ||
Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
Tawhā Hiko | |||
Dopant | n-momo Nitrogen | ||
Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Tawhā Hangarau | |||
Diamita | 150.0±0.2mm | ||
Mātotoru | 350±25 μm | ||
Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
Papatahi tuarua | Karekau | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Hanganga | |||
Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Kounga o mua | |||
Mua | Si | ||
Whakamutu mata | Si-mata CMP | ||
Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
Kounga Whakamuri | |||
Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
Tapa | |||
Tapa | Chamfer | ||
Te takai | |||
Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
*Tuhipoka: "NA" te tikanga karekau he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. |