Ko te Semicera Silicon Substrates he mea hanga ki te whakatutuki i nga tono uaua o te umanga semiconductor, e tuku ana i te kounga me te tino tika. Ka whakaratohia e enei taputapu he turanga pono mo nga momo tono, mai i nga iahiko whakauru ki nga pūtau photovoltaic, e whakarite ana i te mahi tino pai me te roa.
Ko te tino parakore o Semicera Silicon Substrates e whakarite ana i nga hapa iti me nga ahuatanga hiko pai ake, he mea tino nui mo te hanga o nga waahanga hiko tino pai. Ko tenei taumata o te parakore ka awhina i te whakaiti i te ngaronga o te hiko me te whakapai ake i te pai o nga taputapu semiconductor.
Ka whakamahi a Semicera i nga tikanga hanga hou ki te whakaputa i nga taputapu silicon me te tino rite me te papatahi. He mea nui tenei tino tika mo te whakatutuki i nga hua riterite i roto i te hanga semiconductor, ahakoa he iti noa nga rereketanga ka pa ki te mahi me te hua.
Kei te waatea i roto i nga momo rahi me nga whakaritenga, Semicera Silicon Substrates te whakatutuki i te tini o nga hiahia ahumahi. Ahakoa kei te whakawhanake koe i nga miihini miihini tapahi-mata, i nga panui solar ranei, ko enei taputapu e whakarato ana i te ngawari me te pono e hiahiatia ana mo to tono motuhake.
Kua whakatapua a Semicera ki te tautoko i nga mahi auaha me te whai hua i roto i te umanga semiconductor. Ma te whakarato i nga taputapu silicon-kounga teitei, ka taea e matou nga kaihanga ki te pana i nga rohe o te hangarau, te tuku hua e tutuki ana i nga hiahia o te maakete. Whakawhirinaki ki a Semicera mo o reanga hiko me nga otinga whakaahua hiko.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakamutu mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga karekau he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
