Ko nga Waariki Semicera Silicon he mea tino hanga hei turanga mo te maha o nga taputapu hikohiko, mai i nga miihini miihini ki nga pūtau photovoltaic. Ko enei wafers he mea hanga ki te tino tika me te parakore, kia pai ai te mahi i roto i nga momo tono hiko.
I hangaia ma te whakamahi i nga tikanga matatau, e whakaatu ana a Semicera Silicon Wafers i te tino papatahi me te riterite, he mea tino nui ki te whakatutuki i nga hua nui i roto i te hangahanga semiconductor. Ko tenei taumata o te tika ka awhina i te whakaiti i nga hapa me te whakapai ake i te pai o nga waahanga hiko.
Ko te kounga teitei o Semicera Silicon Wafers ka kitea i roto i o raatau ahuatanga hiko, e whai waahi ana ki te whakapai ake i nga mahi o nga taputapu semiconductor. Na te iti o te pokekore me te kounga o te karaihe teitei, ka whakaratohia e enei wafers te turanga pai mo te whakawhanake i nga hikohiko mahi teitei.
Kei te waatea i roto i nga momo rahi me nga whakaritenga, ka taea te whakarite a Semicera Silicon Wafers ki te whakatutuki i nga hiahia motuhake o nga ahumahi rereke, tae atu ki te rorohiko, te waea waea, me te kaha whakahou. Ahakoa mo te whakangao nui, mo te rangahau motuhake ranei, ka puta nga hua pono.
Kei te kaha a Semicera ki te tautoko i te tipu me te mahi hou o te ahumahi semiconductor ma te whakarato i nga wafers silicon-kounga teitei e tutuki ana i nga paerewa ahumahi teitei. Ma te arotahi ki te tika me te pono, ka taea e Semicera nga kaihanga ki te pana i nga rohe o te hangarau, me te whakarite kia noho tonu a raatau hua ki mua o te maakete.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakamutu mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga karekau he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
