Ka whakaratohia e Semicera's SiN Ceramics Plain Substrates he otinga tino mahi mo nga momo tono hiko me te ahumahi. E mohiotia ana mo te pai o te kawe waiariki me te kaha miihini, ka whakarite enei taputapu i te mahi pono i roto i nga taiao tono.
I hangaia a maatau miihini SiN (Silicon Nitride) ki te hapai i nga wera tino nui me nga ahuatanga taumaha-nui, kia pai ai mo nga hikohiko hiko teitei me nga taputapu semiconductor matatau. Ko to ratou mauroa me te atete ki te wiri waiariki e pai ana mo te whakamahi i nga tono he mea nui te pono me te mahi.
Ko nga mahi hanga tika a Semicera ka whakarite kia tutuki ia tïpako mania ki nga paerewa kounga. Ko tenei ka puta mai nga taputapu he rite tonu te matotoru me te kounga o te mata, he mea nui hei whakatutuki i nga mahi tino pai i roto i nga huihuinga hiko me nga punaha.
I tua atu i o raatau painga waiariki me te miihini, ko te SiN Ceramics Plain Substrates he pai rawa atu nga waahanga whakamaarama hiko. Ma tenei ka whakarite he iti noa te wawaotanga hiko me te whai waahi ki te pumau me te pai o nga waahanga hiko, me te whakanui ake i te roanga o te mahi.
Ma te kowhiri i nga Taapapa Maamaa SiN Ceramics a Semicera, kei te kowhiri koe i tetahi hua e whakakotahi ana i te puutaiao rauemi matatau me te hanga tino pai. Ko ta matou piripono ki te kounga me te auahatanga e whakapumau ana ka whiwhi koe i nga taputapu e tutuki ana i nga paerewa ahumahi teitei me te tautoko i te angitu o o kaupapa hangarau matatau.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakamutu mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga karekau he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
