Ko nga kawe kawe angiangi epitaxial TaCe whakamahia ana i te nuinga o te waa ki te whakarite i nga taputapu optoelectronic tino mahi, nga taputapu hiko, nga puoro me etahi atu mara. Teneikawe angiangi epitaxiale pā ana ki te whakatakoto oTaCkiriata angiangi i runga i te tïpako i roto i te tukanga tupu tioata ki te hanga i te angiangi ki te hanganga motuhake me te mahi mo te faaineineraa pūrere muri.
Ka whakamahia te hangarau kohu matū (CVD) ki te whakariteKo nga kawe kawe angiangi epitaxial TaC. Na roto i te tauhohenga i nga mea whakarewa pararopi me nga hau puna waro i te wera nui, ka taea te whakatakoto i tetahi kiriata TaC ki runga i te mata o te taputapu karaihe. Ka taea e tenei kiriata te whai i nga taonga hiko, whatu me te miihini, he pai hoki mo te whakarite i nga momo taputapu mahi teitei.
Ka whakaratohia e Semicera nga paninga tantalum carbide (TaC) motuhake mo nga momo waahanga me nga kaikawe.Ko te tukanga whakakikorua a Semicera ka taea e te tantalum carbide (TaC) nga paninga ki te whakatutuki i te parakore teitei, te pumau o te pāmahana teitei me te pai o te matū matū, te whakapai ake i te kounga hua o nga kiripiri SIC/GAN me nga paparanga EPI (Te kawhata whakakikorua TaC susceptor), me te whakaroa i te ora o nga waahanga reactor matua. Ko te whakamahinga o te tantalum carbide TaC paninga ko te whakaoti i te raru o te taha me te whakapai ake i te kounga o te tipu o te karaihe, a kua tutuki a Semicera i te hangarau whakakikorua tantalum carbide (CVD), ka eke ki te taumata matatau o te ao.
I muri i nga tau o te whanaketanga, kua wikitoria e Semicera te hangarau oCVD TaCme nga mahi tahi a te tari R&D. Ko nga hapa he ngawari ki te puta i roto i te tipu o nga wafers SiC, engari i muri i te whakamahiTaC, he nui te rereketanga. Kei raro nei te whakataurite o nga angiangi me te TaC me te kore, me nga wahanga Simicera mo te tipu karaihe kotahi.
me te kore TaC
Whai muri i te whakamahi i te TaC (matau)
Ano, ko Semicera'sNga hua kua pania ki te TaCwhakaatu i te ora ratonga roa me te nui atu te parenga teitei-mahana whakaritea kiNga paninga SiC.Kua whakaatuhia e nga inenga taiwhanga to maatauTaC paningaKa taea te mahi i nga wa roa ki te 2300 nga nekehanga Celsius mo nga wa roa. Kei raro nei etahi tauira o a maatau tauira:
