TaC whakakikoruatia nga mowhiti kaiarahi kauwhatatirohia te waipara o te kahu angiangi otantalum carbidei runga i te mata o te mowhiti kaiarahi kauwhata hei whakapai ake i tona aukati kakahu, te parenga teitei o te pāmahana me te pumau matū. I te nuinga o te wa ka hangahia tenei paninga ki runga i te mata o te mowhiti kaiarahi kauwhata ma nga tikanga penei i te whakahekenga kohu tinana (PVD) me te tukunga kohu matū (CVD).
Ka whakaratohia e Semicera nga paninga tantalum carbide (TaC) motuhake mo nga momo waahanga me nga kaikawe.Ko te tukanga whakakikorua a Semicera ka taea e te tantalum carbide (TaC) nga paninga ki te whakatutuki i te parakore teitei, te pumau o te pāmahana teitei me te pai o te matū matū, te whakapai ake i te kounga hua o nga kiripiri SIC/GAN me nga paparanga EPI (Te kawhata whakakikorua TaC susceptor), me te whakaroa i te ora o nga waahanga reactor matua. Ko te whakamahinga o te tantalum carbide TaC paninga ko te whakaoti i te raru o te taha me te whakapai ake i te kounga o te tipu o te karaihe, a kua tutuki a Semicera i te hangarau whakakikorua tantalum carbide (CVD), ka eke ki te taumata matatau o te ao.
I muri i nga tau o te whanaketanga, kua wikitoria e Semicera te hangarau oCVD TaCme nga mahi tahi a te tari R&D. Ko nga hapa he ngawari ki te puta i roto i te tipu o nga wafers SiC, engari i muri i te whakamahiTaC, he nui te rereketanga. Kei raro nei te whakataurite o nga angiangi me te TaC me te kore, me nga wahanga Simicera mo te tipu karaihe kotahi.
Ko nga ahuatanga matua o nga mowhiti kaiarahi graphite pania TaC ko:
1. Te parenga teitei o te pāmahana: Ko te paninga TaC he tino pai te pumau o te pāmahana, ka taea te pupuri i te pumau i roto i nga taiao teitei.
2. Ka mau i te aukati: Ko te pakeke o te tantalum carbide paparanga angiangi ka hoatu te mowhiti kaiarahi he pai te mau kakahu me te whakaroa i tona oranga mahi.
3. Pumautanga matū: Ko te paninga TaC he tino pumau ki te waikura matū, na reira e pai ana mo nga tono i roto i etahi purongo kino.
4. Whakaitihia te waku: Ka taea e te paninga TaC te whakaiti i te waahi i waenga i te mowhiti aratohu graphite me etahi atu waahanga me te whakapai ake i te pai o nga hiri miihini.
me te kore TaC
Whai muri i te whakamahi i te TaC (matau)
Ano, ko Semicera'sNga hua kua pania ki te TaCwhakaatu i te ora ratonga roa me te nui atu te parenga teitei-mahana whakaritea kiNga paninga SiC.Kua whakaatuhia e nga inenga taiwhanga to maatauTaC paningaKa taea te mahi i nga wa roa ki te 2300 nga nekehanga Celsius mo nga wa roa. Kei raro nei etahi tauira o a maatau tauira:
