Tantalum carbide (TaC) Susceptor whakakikoruatia mo nga Taputapu Epitaxy

Whakaahuatanga Poto:

Ko te Graphite he mea tino pai mo te pāmahana teitei, engari he ngawari ki te oxidize i nga pāmahana teitei. Ahakoa i roto i nga oumu korehau me te hau koretake, ka taea tonu te whakapoipoi i te waikura. Ma te whakamahi i te paninga CVD tantalum carbide (TaC) ka taea te whakamarumaru i te taputapu kauwhata, ka rite te parenga pāmahana teitei ki te graphite. Ko te TaC ano he rawa mokowhiti, ko te tikanga e kore e tauhohe ki nga hau penei i te argon me te hauwai i te pāmahana teitei.Uiuitanga Tantalum carbide (TaC) Susceptor Whakakikoruatia mo nga Taputapu Epitaxy inaianei!

 


Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ka whakaratohia e Semicera nga paninga tantalum carbide (TaC) motuhake mo nga momo waahanga me nga kaikawe.Ko te tukanga whakakikorua a Semicera ka taea e te tantalum carbide (TaC) nga paninga ki te whakatutuki i te parakore teitei, te pumau o te pāmahana teitei me te pai o te matū matū, te whakapai ake i te kounga hua o nga kiripiri SIC/GAN me nga paparanga EPI (Te kawhata whakakikorua TaC susceptor), me te whakaroa i te ora o nga waahanga reactor matua. Ko te whakamahinga o te tantalum carbide TaC paninga ko te whakaoti i te raru o te taha me te whakapai ake i te kounga o te tipu o te karaihe, a kua tutuki a Semicera i te hangarau whakakikorua tantalum carbide (CVD), ka eke ki te taumata matatau o te ao.

 

I muri i nga tau o te whanaketanga, kua wikitoria e Semicera te hangarau oCVD TaCme nga mahi tahi a te tari R&D. Ko nga hapa he ngawari ki te puta i roto i te tipu o nga wafers SiC, engari i muri i te whakamahiTaC, he nui te rereketanga. Kei raro nei te whakataurite o nga angiangi me te TaC me te kore, me nga wahanga Simicera mo te tipu karaihe kotahi.

微信图片_20240227150045

me te kore TaC

微信图片_20240227150053

Whai muri i te whakamahi i te TaC (matau)

Ano, ko Semicera'sNga hua kua pania ki te TaCwhakaatu i te ora ratonga roa me te nui atu te parenga teitei-mahana whakaritea kiNga paninga SiC.Kua whakaatuhia e nga inenga taiwhanga to maatauTaC paningaKa taea te mahi i nga wa roa ki te 2300 nga nekehanga Celsius mo nga wa roa. Kei raro nei etahi tauira o a maatau tauira:

 
0(1)
Te waahi mahi a Semicera
Te waahi mahi Semicera 2
Miihini taputapu
Whare Taonga Semicera
Te tukatuka CNN, te horoi matū, te paninga CVD
Ta tatou ratonga

  • Tōmua:
  • Panuku: