Whakataki ki te CVD TaC Coating:
Ko te Whakakikorua CVD TaC he hangarau e whakamahi ana i te waipara matū matū hei whakatakoto i te paninga tantalum carbide (TaC) ki te mata o te tïpako. Ko te Tantalum carbide he taonga uku teitei me nga taonga miihini me te matū. Ko te tukanga CVD ka hangaia he kiriata TaC rite ki te mata o te tïpako ma te tauhohenga hau.
Ko nga ahuatanga matua:
He tino pai te pakeke me te kakahu parenga: Ko te Tantalum carbide he tino pakeke, a ka taea e te Whakakikorua CVD TaC te whakapai ake i te aukati kakahu o te taputapu. Na tenei ka pai te whakakikorua mo nga tono i roto i nga taiao kakahu teitei, penei i nga taputapu tapahi me nga miihini.
Pūmautanga Teitei Te Manawao: Ko nga paninga TaC e tiaki ana i te oumu tino nui me nga waahanga reactor i te mahana ki te 2200°C, e whakaatu ana i te pai o te pumau. Kei te pupuri i te pumau matū me te miihini i raro i nga ahuatanga o te wera nui, e pai ana mo te tukatuka i te wera me nga tono i roto i nga taiao teitei.
He pai te pumau matū: He kaha te waikura Tantalum carbide ki te nuinga o nga waikawa me nga kawakore, a ka taea e te CVD TaC Coating te aukati i te kino o te taputapu i roto i nga taiao pirau.
Te rewa teitei: Ko te Tantalum carbide he ira whakarewa teitei (tata ki te 3880°C), ka taea te whakamahi i te Whakakikorua CVD TaC i roto i nga ahuatanga o te pāmahana tino nui kaore he rewa, he whakaheke ranei.
He pai te kawe werawera: Ko te paninga TaC he nui te kawe werawera, e awhina ana ki te whakakore i te wera i roto i nga tikanga wera-nui me te aukati i te wera o te rohe.
Nga tono pea:
• Gallium Nitride (GaN) me te Silicon Carbide epitaxial CVD reactor wāhanga tae atu ki te kawe kawe angiangi, rīhi amiorangi, ūpoko wai, tuanui, me te susceptors
• Ko te Silicon carbide, ko te gallium nitride me te konumohe nitride (AlN) nga waahanga tipu tioata tae atu ki nga parapara, nga kakano mau, nga mowhiti aratohu me nga whiriwhiringa
• Ko nga waahanga ahumahi tae atu ki nga huānga whakawera whakawera, nga puha werohanga, nga mowhiti whakakikorua me nga tii whakawera
Nga waahanga tono:
• Ka noho pumau te pāmahana i runga ake i te 2000°C, ka taea te mahi i nga wera nui
• He ātete ki te hauwai (Hz), te haukini (NH3), te monosilane (SiH4) me te silicon (Si), he whakamarumaru i nga taiao matū kino.
• Ko tana parenga waiariki ka tere ake nga huringa whakahaere
• He kaha te piri o te Graphite, he roa te ora o te ratonga me te kore e whakakikoruatia.
• Te parakore tino-nui ki te whakakore i nga pokekore, nga mea poke ranei
• te uhi whakakikoruatanga rite ki nga herenga rahi
Nga whakaritenga hangarau:
Te whakarite i nga paninga tantalum carbide matotoru na CVD：
Ko te paninga TAC me te tioata teitei me te riterite pai:
CVD TAC COATING Tawhā Hangarau_Semicera:
| Nga ahuatanga tinana o te paninga TaC | |
| Kiato | 14.3 (g/cm³) |
| Te Whakanuia | 8 x 1015/cm |
| Te whakaputanga motuhake | 0.3 |
| Te whakarea roha wera | 6.3 10-6/K |
| Maama(HK) | 2000 HK |
| Ātete Nui | 4.5 ohm-cm |
| Ātete | 1x10-5Aue*cm |
| Te pūmautanga ngāwhā | <2500℃ |
| Te nekeneke | 237 cm2/Vs |
| Ka huri te rahi o te kawhata | -10~-20um |
| Te matotoru paninga | ≥20um uara angamaheni (35um+10um) |
Ko nga mea o runga he uara tikanga.
