paninga TaChe whakakikorua rawa nui, ka mahia i runga i te turanga kauwhata ma te hangarau whakarewa matū kohu matū (MOCVD). He tino pai nga ahuatanga o tenei paninga, penei i te pakeke teitei, te aukati kakahu pai, te parenga teitei o te pāmahana me te pumau matū, he pai hoki mo nga momo tono miihini nui.
Ko te hangarau MOCVD he hangarau tipu kiriata angiangi e whakamahia nuitia ana e whakatakoto ana i te kiriata pūhui e hiahiatia ana ki runga i te mata tïpako ma te tauhohe i nga kawai pararopi whakarewa me nga hau tauhohenga i te pāmahana teitei. I te wa e whakarite anapaninga TaC, te kowhiri i nga kaarai parapara whakarewa tika me nga puna waro, te whakahaere i nga tikanga tauhohenga me nga tawhā waipara, ka taea te whakatakoto i tetahi kiriata TaC kia mau ki runga i te turanga kauwhata.
Ka whakaratohia e Semicera nga paninga tantalum carbide (TaC) motuhake mo nga momo waahanga me nga kaikawe.Ko te tukanga whakakikorua a Semicera ka taea e te tantalum carbide (TaC) nga paninga ki te whakatutuki i te parakore teitei, te pumau o te pāmahana teitei me te pai o te matū matū, te whakapai ake i te kounga hua o nga kiripiri SIC/GAN me nga paparanga EPI (Ko te kawhata whakakikorua TaC susceptor), me te whakaroa i te ora o nga waahanga reactor matua. Ko te whakamahinga o te tantalum carbide TaC paninga ko te whakaoti i te raru o te taha me te whakapai ake i te kounga o te tipu o te karaihe, a kua tutuki a Semicera i te hangarau whakakikorua tantalum carbide (CVD), ka eke ki te taumata matatau o te ao.
I muri i nga tau o te whanaketanga, kua wikitoria e Semicera te hangarau oCVD TaCme nga mahi tahi a te tari R&D. Ko nga hapa he ngawari ki te puta i roto i te tipu o nga wafers SiC, engari i muri i te whakamahiTaC, he nui te rereketanga. Kei raro nei te whakataurite o nga angiangi me te TaC me te kore, me nga wahanga Simicera mo te tipu karaihe kotahi.
me te kore TaC
Whai muri i te whakamahi i te TaC (matau)
Ano, ko Semicera'sNga hua kua pania ki te TaCwhakaatu i te ora ratonga roa ake, me te nui atu te ātete pāmahana-teitei whakaritea kiNga paninga SiC.Kua whakaatuhia e nga inenga taiwhanga to maatauTaC paningaKa taea te mahi i nga wa roa ki te 2300 nga nekehanga Celsius mo nga wa roa. Kei raro nei etahi tauira o a maatau tauira:
