Ko te TaC Coated Plate he kōpae motuhake i hangaia hei whakamahi i roto i nga tukanga epitaxial SiC, he mea hanga tika mai i nga rawa kauwhata kounga teitei. Kua whakakikoruatia tona mata ki te tantalum carbide (TaC), he puhui e mohiotia ana mo tona tino ma me tona kaha. Ko te paninga TaC e whakanui ana i te mauroa o te pereti me te atete ki nga pāmahana teitei, he pai mo nga ahuatanga o nga mahi epitaxial SiC.
He kopae motuhake tenei TaC Coated Plate i hangaia hei whakamahi i roto i nga tukanga epitaxial SiC, he mea hanga tika mai i nga rawa kauwhata kounga teitei. He mea whakakikoruatia te mata o te Papa Pereti TaC ki te tantalum carbide (TaC), he puhui e mohiotia ana mo tona ma me tona kaha. he turanga pono mo te kawe i nga wafers i nga waahanga rereke o te tipu epitaxial SiC. Ko tana turanga kauwhata parakore teitei e whakarato ana i te mata pumau me te koretake, i te mea ka taapirihia e te paninga TaC tetahi paparanga whakamarumaru ki nga tauhohenga matū me te kakahu.
HemiwāKo te TaC Coated Plate kua whakaritea kia rite ki nga whakaritenga motuhake a nga kaihoko, me te whakarite i te mahi tino pai me te hototahi ki o raatau punaha epitaxial SiC. Ahakoa te rahi, te ahua, me etahi atu whakaritenga, he mea whakarite enei pereti ki te whakatutuki i nga hiahia ahurei o ia tono.
me te kore TaC
Whai muri i te whakamahi i te TaC (matau)
Ano, ko Semicera'sNga hua kua pania ki te TaCwhakaatu i te ora ratonga roa ake, me te nui atu te ātete pāmahana-teitei whakaritea kiNga paninga SiC.Kua whakaatuhia e nga inenga taiwhanga to maatauTaC paningaKa taea te mahi i nga wa roa ki te 2300 nga nekehanga Celsius mo nga wa roa. Kei raro nei etahi tauira o a maatau tauira:
