Ka whakaratohia e Semicera nga paninga tantalum carbide (TaC) motuhake mo nga momo waahanga me nga kaikawe.Ko te tukanga whakakikorua a Semicera ka taea e te tantalum carbide (TaC) nga paninga ki te whakatutuki i te parakore teitei, te pumau o te pāmahana teitei me te pai o te matū matū, te whakapai ake i te kounga hua o nga kiripiri SIC/GAN me nga paparanga EPI (Ko te kawhata whakakikorua TaC susceptor), me te whakaroa i te ora o nga waahanga reactor matua. Ko te whakamahinga o te tantalum carbide TaC paninga ko te whakaoti i te raru o te taha me te whakapai ake i te kounga o te tipu o te karaihe, a kua tutuki a Semicera i te hangarau whakakikorua tantalum carbide (CVD), ka eke ki te taumata matatau o te ao.
Ko nga kaikawe kawe angiangi kua whakakikoruatia a Tantalum carbide e whakamahia nuitia ana i roto i te tukatuka angiangi me te whakahaere i nga tikanga i roto i nga mahi hangahanga semiconductor. Ka whakaratohia e ratou te tautoko me te whakamarumaru hei whakarite i te haumaru, te tika me te rite o nga wafers i te wa e mahi ana. Ka taea e nga paninga carbide Tantalum te roa te oranga o te kaikawe, te whakaiti i nga utu, me te whakapai ake i te kounga me te pono o nga hua semiconductor.
Ko te whakaahuatanga o te tantalum carbide whakakikoruatia te kawe angiangi e whai ake nei:
1. Ko te whiriwhiringa rauemi: Ko te Tantalum carbide he mea tino pai te mahi, te pakeke teitei, te rewa teitei, te aukati waikura me nga taonga miihini pai rawa atu, na reira ka whakamahia nuitia i roto i nga mahi hangahanga semiconductor.
2. Te paninga mata: Ka whakamahia te paninga Tantalum carbide ki te mata o te kaikawe angiangi na roto i te tukanga whakakikorua motuhake hei hanga i te kakahu o te tantalum carbide paninga. Ka taea e tenei paninga te whakamarumaru atu me te whakakakahu i te aukati, me te pai o te kawe wera.
3. Maamaa me te tika: Ko te kaikawe wafer whakakikoruatia o te Tantalum carbide he tohu teitei o te papatahi me te tino tika, me te whakarite i te pumau me te tika o nga wafers i te wa e mahi ana. Ko te papatahi me te whakaotinga o te mata kawe he mea nui hei whakarite i te kounga me te mahi o te angiangi.
4. Te pumau o te pāmahana: Ka taea e nga kaikawe angiangi whakakikoruatia a Tantalum carbide te mau tonu i roto i nga taiao teitei o te pāmahana me te kore he rerekee, te wewete ranei, me te whakarite i te pumau me te rite o nga wafers i roto i nga tukanga teitei.
5. Te aukati waikura: Ko nga paninga Tantalum carbide he tino pai te aukati, ka taea te aukati i te horo o nga matū me nga whakarewa, me te tiaki i te kaikawe mai i te wai me te hau.
me te kore TaC
Whai muri i te whakamahi i te TaC (matau)
Ano, ko Semicera'sNga hua kua pania ki te TaCwhakaatu i te ora ratonga roa ake, me te nui atu te ātete pāmahana-teitei whakaritea kiNga paninga SiC.Kua whakaatuhia e nga inenga taiwhanga to maatauTaC paningaKa taea te mahi i nga wa roa ki te 2300 nga nekehanga Celsius mo nga wa roa. Kei raro nei etahi tauira o a maatau tauira:
