He pepa kauwhata kua whakakikoruatia ki te Tantalum carbidehe rauemi kauwhata me te paparanga angiangi otantalum carbidei runga i te mata o te tïpako. Ko te paparanga angiangi o te tantalum carbide i te nuinga o te wa ka hangaia i runga i te mata o te tïpako kauwhata e nga tikanga penei i te waipara kohu tinana (PVD) me te waipara kohu matū (CVD). He tino pai nga ahuatanga o tenei paninga penei i te pakeke teitei, te aukati kakahu pai, te aukati waikura me te pumau o te pāmahana.
Ka whakaratohia e Semicera nga paninga tantalum carbide (TaC) motuhake mo nga momo waahanga me nga kaikawe.Ko te tukanga whakakikorua a Semicera ka taea e te tantalum carbide (TaC) nga paninga ki te whakatutuki i te parakore teitei, te pumau o te pāmahana teitei me te pai o te matū matū, te whakapai ake i te kounga hua o nga kiripiri SIC/GAN me nga paparanga EPI (Ko te kawhata whakakikorua TaC susceptor), me te whakaroa i te ora o nga waahanga reactor matua. Ko te whakamahinga o te tantalum carbide TaC paninga ko te whakaoti i te raru o te taha me te whakapai ake i te kounga o te tipu o te karaihe, a kua tutuki a Semicera i te hangarau whakakikorua tantalum carbide (CVD), ka eke ki te taumata matatau o te ao.
I muri i nga tau o te whanaketanga, kua wikitoria e Semicera te hangarau oCVD TaCme nga mahi tahi a te tari R&D. Ko nga hapa he ngawari ki te puta i roto i te tipu o nga wafers SiC, engari i muri i te whakamahiTaC, he nui te rereketanga. Kei raro nei te whakataurite o nga angiangi me te TaC me te kore, me nga wahanga Simicera mo te tipu karaihe kotahi.
Ko nga painga nui o te pepa kauwhata whakakikoruatia tantalum carbide ko:
1. Te parenga teitei o te pāmahana: Ko te tantalum carbide he tohu whakarewa teitei me te pai o te pumau o te pāmahana teitei, e pai ana te pepa kauwhata whakakikorua ki te whakamahi i nga taiao teitei.
2. Te aukati waikura: Ka taea e te paninga Tantalum carbide te aukati i te paheketanga o te maha o nga matū pirau matū me te whakaroa i te oranga o te rauemi.
3. Te pakeke: Ko te pakeke o te tantalum carbide paparanga angiangi e whakarato ana i te aukati kakahu pai, he pai hoki mo nga tono e hiahia ana kia kaha te kakahu.
4. Pumautanga matū: Ko te paninga Tantalum carbide he tino pai ki te waikura matū, he pai hoki mo te whakamahi i etahi purongo kino.
me te kore TaC
Whai muri i te whakamahi i te TaC (matau)
Ano, ko Semicera'sNga hua kua pania ki te TaCwhakaatu i te ora ratonga roa ake, me te nui atu te ātete pāmahana-teitei whakaritea kiNga paninga SiC.Kua whakaatuhia e nga inenga taiwhanga to maatauTaC paningaKa taea te mahi i nga wa roa ki te 2300 nga nekehanga Celsius mo nga wa roa. Kei raro nei etahi tauira o a maatau tauira:
