Pereti tautoko susceptor pania Tantalum carbidehe whakararu, he hanganga tautoko ranei kua hipokina ki te paparanga angiangi otantalum carbide. Ka taea te hanga i tenei paninga ki runga i te mata o te whakaraerae ma te whakamahi i nga tikanga penei i te whakangao kohu tinana (PVD) me te whakangao matū matū (CVD), ka hoatu ki te kaiwhakararu nga ahuatanga pai ake o te.tantalum carbide.
Ka whakaratohia e Semicera nga paninga tantalum carbide (TaC) motuhake mo nga momo waahanga me nga kaikawe.Ko te tukanga whakakikorua a Semicera ka taea e te tantalum carbide (TaC) nga paninga ki te whakatutuki i te parakore teitei, te pumau o te pāmahana teitei me te pai o te matū matū, te whakapai ake i te kounga hua o nga kiripiri SIC/GAN me nga paparanga EPI (Te kawhata whakakikorua TaC susceptor), me te whakaroa i te ora o nga waahanga reactor matua. Ko te whakamahinga o te tantalum carbide TaC paninga ko te whakaoti i te raru o te taha me te whakapai ake i te kounga o te tipu o te karaihe, a kua tutuki a Semicera i te hangarau whakakikorua tantalum carbide (CVD), ka eke ki te taumata matatau o te ao.
I muri i nga tau o te whanaketanga, kua wikitoria e Semicera te hangarau oCVD TaCme nga mahi tahi a te tari R&D. Ko nga hapa he ngawari ki te puta i roto i te tipu o nga wafers SiC, engari i muri i te whakamahiTaC, he nui te rereketanga. Kei raro nei te whakataurite o nga angiangi me te TaC me te kore, me nga wahanga Simicera mo te tipu karaihe kotahi.
Ko nga ahuatanga matua o te tantalum carbide whakakikorua i nga papa tautoko turanga ko:
1. Pumautanga teitei o te pāmahana: He pai te pumau o te pāmahana teitei o te Tantalum carbide, e pai ana te pereti tautoko turanga pani mo nga hiahia tautoko i roto i nga taiao mahi teitei.
2. Te aukati waikura: Ko te paninga Tantalum carbide he pai te aukati, ka taea te aukati i te waikura matū me te waikura, me te whakaroa i te oranga o te turanga.
3. Te pakeke me te whakaahuru kakahu: Ko te tino pakeke o te paninga tantalum carbide e pai ai te pereti tautoko turanga, he pai mo nga waa e hiahia ana kia kaha te kakahu.
4. Pumautanga matū: Ko te Tantalum carbide he tino pumau ki te maha o nga matū matū, ka pai te mahi o te pereti tautoko turanga i roto i etahi taiao kino.
me te kore TaC
Whai muri i te whakamahi i te TaC (matau)
Ano, ko Semicera'sNga hua kua pania ki te TaCwhakaatu i te ora ratonga roa me te nui atu te parenga teitei-mahana whakaritea kiNga paninga SiC.Kua whakaatuhia e nga inenga taiwhanga to maatauTaC paningaKa taea te mahi i nga wa roa ki te 2300 nga nekehanga Celsius mo nga wa roa. Kei raro nei etahi tauira o a maatau tauira:
