Tantalum carbide (TaC) Whakakikorua i te Paparangi Paparangi

Ko te Tantalum carbide (TaC) Te Whakakikorua i te Paparangi Paparangi Whakaahua

Whakaahuatanga Poto:

I te taenga mai o nga wafers 8-inihi silicon carbide (SiC), kua kaha haere nga whakaritenga mo nga momo tikanga semiconductor, ina koa mo nga tukanga epitaxy ka nui ake te mahana ki te 2000 nga nekehanga Celsius. Ko nga taonga whakaraerae o mua, penei i te kauwhata kua whakakikoruatia ki te carbide silicon, ka kaha ki te whakaheke i enei pāmahana teitei, ka whakararu i te mahi epitaxy. Heoi ano, ko te CVD tantalum carbide (TaC) he pai ki te whakatika i tenei take, me te pupuri i nga mahana ki te 2300 nga nekehanga Celsius me te tuku i te oranga roa. Whakapaa atu ki a Semicera's Tantalum carbide (TaC) Pereti Whakakikoruatanga Planetary Plate ki te tuhura atu mo o maatau otinga matatau.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ka whakaratohia e Semicera nga paninga tantalum carbide (TaC) motuhake mo nga momo waahanga me nga kaikawe.Ko te tukanga whakakikorua a Semicera ka taea e te tantalum carbide (TaC) nga paninga ki te whakatutuki i te parakore teitei, te pumau o te pāmahana teitei me te pai o te matū matū, te whakapai ake i te kounga hua o nga kiripiri SIC/GAN me nga paparanga EPI (Ko te kawhata whakakikorua TaC susceptor), me te whakaroa i te ora o nga waahanga reactor matua. Ko te whakamahinga o te tantalum carbide TaC paninga ko te whakaoti i te raru o te taha me te whakapai ake i te kounga o te tipu o te karaihe, a kua tutuki a Semicera i te hangarau whakakikorua tantalum carbide (CVD), ka eke ki te taumata matatau o te ao.

I muri i nga tau o te whanaketanga, kua wikitoria e Semicera te hangarau oCVD TaCme nga mahi tahi a te tari R&D. Ko nga hapa he ngawari ki te puta i roto i te tipu o nga wafers SiC, engari i muri i te whakamahiTaC, he nui te rereketanga. Kei raro nei te whakataurite o nga angiangi me te TaC me te kore, me nga wahanga Simicera mo te tipu karaihe kotahi.

Ko te whakakikoruatanga tantalum carbide teitei_ te whakapai ake i te pai o te hanga ahumahi me te whakaiti i nga utu tiaki

Tac wahi mo te tipu kotahi tioata

Ko te paninga tantalum carbide Antiwear_ Ka tiakina nga taputapu mai i te kakahu me te waikura Atahanga Whakaatu

Kauwhata ki TaC whakakai whakakai

me te kore TaC

Whai muri i te whakamahi i te TaC (matau)

Ano, ko Semicera'sNga hua kua pania ki te TaCwhakaatu i te ora ratonga roa ake, me te nui atu te ātete pāmahana-teitei whakaritea kiNga paninga SiC.Kua whakaatuhia e nga inenga taiwhanga to maatauTaC paningaKa taea te mahi i nga wa roa ki te 2300 nga nekehanga Celsius mo nga wa roa. Kei raro nei etahi tauira o a maatau tauira: