Te Tukatuka MEMS - Te Hononga: Te Tono me te Mahi i roto i te Ahumahi Semiconductor, Ratonga Whakaritea a Semicera
I roto i nga ahumahi microelectronics me te semiconductor, kua riro te hangarau MEMS (micro-electromechanical system) tetahi o nga hangarau matua e akiaki ana i nga mahi hou me nga taputapu mahi nui. Na te ahu whakamua o te aoiao me te hangarau, kua whakamahia te hangarau MEMS i roto i nga pukoro, i nga kaitahuri, i nga taputapu mata, i nga taputapu rongoa, i nga hikohiko miihini me etahi atu mara, a kua noho hei waahanga nui o te hangarau hou. I roto i enei mara, ko te tukanga honohono (Bonding), hei waahanga matua i roto i te tukatuka MEMS, he mea nui ki te mahi me te pono o te taputapu.
Ko te hononga he hangarau e hono mau ana i nga rawa e rua, neke atu ranei ma nga tikanga tinana, matū ranei. I te nuinga o te waa, me hono nga papanga papanga rereke ma te hono i nga taputapu MEMS kia tutuki ai te hanganga me te whakatinanatanga mahi. I roto i nga mahi hangahanga o nga taputapu MEMS, ko te honohono ehara i te mea he hononga hononga anake, engari ka pa tika ki te pumau o te waiariki, te kaha miihini, te mahi hiko me etahi atu waahanga o te taputapu.
I roto i te tukatuka MEMS tino tika, me whakarite te hangarau honohono i te hononga tata i waenga i nga rauemi i te wa e karo ana i nga hapa e pa ana ki te mahi o te taputapu. No reira, ko te whakahaere tika mo te mahi honohono me nga rauemi here-kounga teitei nga mea matua hei whakarite kia tutuki te hua whakamutunga ki nga paerewa umanga.
Ko nga tono honohono MEMS i roto i te umanga semiconductor
I roto i te ahumahi semiconductor, ka whakamahia te hangarau MEMS i roto i te hanga o nga taputapu moroiti penei i te puoro, te whakatere, te pehanga, me te gyroscopes. Na te piki haere o te tono mo nga hua iti, whakauru, me te mohio, kei te piki haere te tika me nga whakaritenga mahi o nga taputapu MEMS. I roto i enei tono, ka whakamahia te hangarau honohono ki te hono atu i nga mea rereke penei i te angiangi silicon, te karaihe, te konganuku, me te polymers ki te whakatutuki i nga mahi pai me te pumau.
1. Pūoko pehanga me te whakatere
I roto i nga mara o nga motuka, aerospace, hikohiko kaihoko, me era atu, ka whakamahia nuitia nga pukoro pehanga MEMS me nga accelerometers i roto i nga punaha ine me te whakahaere. Ka whakamahia te tukanga honohono ki te hono i nga maramara silicon me nga huānga pūoko hei whakarite i te kaha me te tika. Me kaha enei pukoro ki te tu atu i nga ahuatanga o te taiao, a ka taea e nga tikanga here-kounga teitei te aukati i nga rawa kia kore e wetewete, kia hee ranei na te huringa o te pāmahana.
2. Nga taputapu moroiti-whatu me nga whakakā whatu MEMS
I roto i te waahi o nga whakawhitiwhiti korero me nga taputapu laser, he mahi nui nga taputapu mata MEMS me nga whakahuri mata. Ka whakamahia te hangarau honohono ki te whakatutuki i te hononga tika i waenga i nga taputapu MEMS i runga i te silicon me nga taonga penei i nga muka whatu me nga whakaata hei whakarite i te pai me te pumau o te tuku tohu tohu. Ina koa i roto i nga tono me te auau teitei, te whanui whanui me te whakawhiti tawhiti, he mea tino nui te hangarau honohono mahi nui.
3. MEMS gyroscopes me inertial pūoko
Ko nga gyroscope MEMS me nga pūoko inertial e whakamahia nuitia ana mo te whakatere tika me te tuunga i roto i nga umanga teitei penei i te taraiwa motuhake, robotics, me te aerospace. Ka taea e nga tukanga honohono-nui te whakarite i te pono o nga taputapu me te karo i te paheketanga o te mahi, i te kore ranei i te wa e mahi ana mo te wa roa, te mahi auau teitei ranei.
Ko nga whakaritenga mahi matua o te hangarau honohono i roto i te tukatuka MEMS
I roto i te tukatuka MEMS, ko te kounga o te tukanga honohono ka whakatau tika i te mahi, te oranga me te pumau o te taputapu. Kia mohio ai ka taea e nga taputapu MEMS te mahi pono mo te wa roa i roto i nga ahuatanga tono, me whai i nga mahi matua e whai ake nei te hangarau honohono:
1. Pumautanga waiariki teitei
He maha nga taiao tono i roto i te ahumahi semiconductor he nui nga ahuatanga o te pāmahana, ina koa i nga waahi o nga motuka, aerospace, me etahi atu.
2. Te mau atete teitei
Ko nga taputapu MEMS te nuinga o nga hanganga miihini moroiti, a ko te waku roa me te neke ka mau pea nga waahanga hononga. Ko nga rauemi honohono me tino pai te whakakakahu kia pai ai te pumau me te pai o te taputapu ki te whakamahi mo te wa roa.
3. Te parakore teitei
Ko te ahumahi semiconductor he tino kaha nga whakaritenga mo te purenga rawa. Ko nga mea poke iti ka paheke pea te taputapu, te paheketanga ranei o te mahi. Na reira, ko nga rauemi e whakamahia ana i roto i te mahi honohono me tino ma kia kore ai te taputapu e pa ki te poke o waho i te wa e mahi ana.
4. Tino tika te herenga
He maha nga wa e rapua ana e nga taputapu MEMS te tika o te tukatuka taumata-miciron, tae noa ki te nanometer-level. Ko te tikanga honohono me whakarite te tauranga tika o ia paparanga rauemi kia kore ai e pa te mahi me te mahi o te taputapu.
Te hononga anodic
Hononga anodic:
● E tika ana ki te hono i waenga i nga wafers silicon me te karaihe, te whakarewa me te karaihe, te semiconductor me te koranu, me te semiconductor me te karaihe
Te hononga eutectoid:
● E tika ana mo nga taonga penei i te PbSn, AuSn, CuSn, me AuSi
Here here:
● Whakamahia te kapia herenga motuhake, e tika ana mo nga whakapiringa motuhake penei i te AZ4620 me te SU8
● E tika ana ki te 4-inihi me te 6-inihi
Ratonga Whakahononga Ritenga Semicera
Hei kaiwhakarato-a-ahumahi mo nga otinga tukatuka MEMS, kei te kaha a Semicera ki te whakarato i nga kaihoko ki nga ratonga honohono-nui, tino pumau. Ka taea te whakamahi i to maatau hangarau honohono i roto i te hononga o nga rauemi rereke, tae atu ki te silicon, te karaihe, te whakarewa, te karaera, me etahi atu, e whakarato ana i nga otinga hou mo nga tono teitei i roto i nga waahanga semiconductor me MEMS.
Kei a Semicera nga taputapu whakangao me nga roopu hangarau, a ka taea e ia te whakarato i nga otinga honohono i runga i nga hiahia o nga kaihoko. Ahakoa he hononga pono i raro i te pāmahana teitei me te taiao pehanga teitei, he hononga moroiti-pupuru tika ranei, ka taea e Semicera te whakatutuki i nga momo whakaritenga tukanga uaua hei whakarite kia tutuki ia hua ki nga paerewa kounga teitei.
Ko ta maatau ratonga here ritenga kaore i te whakawhäitihia ki nga tikanga honohono tikanga, engari kei roto ano hoki te hononga whakarewa, te herenga whakamaarama waiariki, te whakapiri piri me etahi atu tukanga, ka taea te whakarato i te tautoko hangarau ngaio mo nga rauemi rereke, nga hanganga me nga whakaritenga tono. I tua atu, ka taea hoki e Semicera te whakarato ratonga katoa ki nga kaihoko mai i te whanaketanga tauira ki te hanga papatipu hei whakarite kia tutuki tika nga whakaritenga hangarau katoa a nga kaihoko.
