Semicerahe hikaka ki te tuku2" Gallium Oxide Substrates, he rauemi tapahi i hangaia hei whakarei ake i te mahi o nga taputapu semiconductor matatau. Ko enei taputapu, he mea hanga mai i te Gallium Oxide (Ga2O3), e whakaatu ana i te whanui whanui whanui, ka waiho hei whiringa pai mo nga tono hiko-a-tinana, teitei-auau, me te UV optoelectronic.
Āhuatanga matua:
• Mokowhiti-Wide Bandgap: Te2" Gallium Oxide Substrateswhakarato i te mokowhiti tino nui tata ki te 4.8 eV, e taea ai te mahi ngaohiko me te pāmahana teitei ake, he nui rawa atu i te kaha o nga rawa hikohiko tuku iho penei i te silicon.
•Ngaohiko Paanga Rawa: Ko enei taputapu ka taea e nga taputapu te hapai i nga ngaohiko teitei ake, ka tino pai mo te hikohiko hiko, ina koa ki nga tono ngaohiko teitei.
•Te Kawenga Ngaaariki Pai: Ma te pai ake o te waiariki, ka mau tonu te mahi o enei taputapu ahakoa i roto i nga taiao wera nui, he pai mo nga tono mana teitei me te wera nui.
•Rauemi Kounga-Teitei: Te2" Gallium Oxide Substratestuku kiato koha iti me te kounga tioata teitei, te whakarite i te pono me te pai o te mahi o o taputapu semiconductor.
•Nga tono maha: He pai enei taputapu mo te maha o nga tono, tae atu ki nga transistors hiko, Schottky diodes, me nga taputapu UV-C LED, e tuku ana i te turanga pakari mo te mana me te optoelectronic innovations.
Wewetehia te kaha katoa o o taputapu semiconductor me Semicera's2" Gallium Oxide Substrates. I hangaia a maatau taputapu ki te whakatutuki i nga hiahia nui o nga tono hou o tenei ra, me te whakarite i te mahi nui, te pono, me te pai. Whiriwhiria a Semicera mo nga rawa-a-toi-a-te-toi-a-te-toi-a-te-toi e akiaki ana i te auahatanga.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakamutu mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga karekau he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
