Whakaahuatanga
Ka whakaratohia e to maatau kamupenepaninga SiCnga ratonga tukatuka ma te tikanga CVD i runga i te mata o te kauwhata, te karamu me etahi atu rawa, kia tauhohe ai nga hau motuhake kei roto i te waro me te silicon i te pāmahana teitei kia whiwhi i nga ngota ngota SiC parakore teitei, nga ngota ngota ka waiho ki runga i te mata o nga mea pani, ka hangaPaparanga tiaki SIC.
Nga waahanga matua
1. Te teitei o te wera o te waikura:
he tino pai tonu te parenga waiora i te wa e teitei ana te pāmahana ki te 1600 C.
2. Te parakore teitei: i hangaia e te waipara matū matū i raro i te ahua o te maota o te pāmahana teitei.
3. Atete te horo: te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.
4. Te aukati waikura: te waikawa, te kawakore, te tote me nga reagents waro.
Nga Whakatakotoranga Matua o te Whakakikorua CVD-SIC
| Nga Taonga SiC-CVD | ||
| Hanganga Kiriata | FCC β wāhanga | |
| Kiato | g/cm³ | 3.21 |
| Te pakeke | Vickers pakeke | 2500 |
| Rahi witi | μm | 2~10 |
| Te Maamaa | % | 99.99995 |
| Raukaha Wera | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Te Mahana Whakararo | ℃ | 2700 |
| Te Kaha Felexural | MPa (RT 4-point) | 415 |
| Young's Modulus | Gpa (4pt piko, 1300℃) | 430 |
| Roha Ngawha (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Te kawe werawera | (W/mK) | 300 |
Kōtaha Kamupene
Ko Semicera Energy tetahi o nga kaihanga me nga kaiwhakarato o nga paera pepa epitaxial silicon carbide i Haina.Ko o matou hua matua ko: Pereti tukituki silicon carbide, waka waka waka hiraka, poti wafer silicon carbide (PV & Semiconductor), ngongo oumu carbide silicon, hoe carbide cantilever, chucks silicon carbide, kurupae carbide silicon, me nga paninga CVD SiC me TaC paninga.
Ko nga hua e whakamahia ana i roto i nga ahumahi semiconductor me te photovoltaic, penei i te tipu o te karaihe, te epitaxy, te etching, te takai, te paninga me te taputapu oumu diffusion.Hokona nga paera pepa epitaxial pania SIC me nga utu iti mai i ta maatau wheketere.Kei a matou ake te waitohu me te tautoko hoki i te nuinga.Mena kei te pirangi koe ki a maatau hua, ka hoatu e matou he utu iti.Nau mai ki a maatau hua utu utu kounga teitei.
Kei a taatau kamupene nga taputapu whakaputa katoa penei i te whakakikorua, te sintering, te tukatuka, nga taputapu whakakikorua, me etahi atu, ka taea te whakaoti i nga hononga katoa e tika ana mo te whakaputa hua me te kaha ake o te mana whakahaere o te kounga o te hua;Ko te mahere whakaputa tino pai ka taea te whiriwhiri i runga i nga hiahia o te hua, ka iti ake te utu me te whakarato i nga kaihoko ki nga hua whakataetae;Ka taea e taatau te whakarite i nga mahi hangai i runga i nga whakaritenga tuku ota me te hono atu ki nga punaha whakahaere ota ipurangi, ka tere ake te waa tuku ki nga kaihoko.
Taputapu
