Semicerawhakahihi tona whakaurunga4" Gallium Oxide Substrates, he taonga pakaru whenua i hangaia hei whakatutuki i nga hiahia tipu o nga taputapu semiconductor tino mahi. Kariora Oxide (Ga2O3) ka tukuna e nga taputapu he waahi whanui whanui, he pai mo nga hikohiko hiko o muri mai, UV optoelectronics, me nga taputapu auau teitei.
Āhuatanga matua:
• Mokowhiti-Wide Bandgap: Te4" Gallium Oxide Substrateswhakahihiri i te mokowhiti o te 4.8 eV, e taea ai te ngaohiko motuhake me te whakamaaramatanga o te pāmahana, he tino pai ake i nga rauemi semiconductor tuku iho penei i te silicon.
•Ngaohiko Paanga Teitei: Ko enei taputapu ka taea e nga taputapu te whakahaere i nga ngaohiko me nga mana teitei ake, ka tino pai mo nga tono ngaohiko teitei i roto i te hiko hiko.
•Te Pumau Ngaaariki Kairangi: Ko nga taputapu o te Gallium Oxide e tuku ana i te pai o te kawe i te waiariki, me te whakarite kia mau te mahi i raro i nga ahuatanga tino kino, he pai mo te whakamahi i nga taiao hiahia.
•Kounga Rawa Nui: Ma te iti o te koha me te kounga o te karaihe teitei, ko enei taputapu ka whakarite kia pono, kia rite tonu te mahi, te whakarei ake i te pai me te mauroa o o taputapu.
•Taupānga Whānui: He pai mo te maha o nga tono, tae atu ki nga transistors hiko, Schottky diodes, me nga taputapu UV-C LED, e taea ai nga mahi hou i roto i nga waahanga hiko me te optoelectronic.
Te torotoro i te wa kei te heke mai o te hangarau hikohiko me Semicera's4" Gallium Oxide Substrates. I hangaia a maatau taputapu ki te tautoko i nga tono tino matatau, e whakarato ana i te pono me te pai e hiahiatia ana mo nga taputapu tapahi-mata o enei ra. Whakawhirinaki ki a Semicera mo te kounga me te mahi hou i roto i o rauemi hikohiko.
| Nga taonga | Whakaputa | Rangahau | Porekau |
| Tawhā Kiriata | |||
| Polytype | 4H | ||
| Hapa takotoranga mata | <11-20 >4±0.15° | ||
| Tawhā Hiko | |||
| Dopant | n-momo Nitrogen | ||
| Te ātete | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Tawhā Hangarau | |||
| Diamita | 150.0±0.2mm | ||
| Mātotoru | 350±25 μm | ||
| Te takotoranga papa tuatahi | [1-100]±5° | ||
| Te roa papatahi tuatahi | 47.5±1.5mm | ||
| Papatahi tuarua | Karekau | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Kopere | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Mua (Si-mata) taratara (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Hanganga | |||
| Kiato paipa moroiti | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Nga poke whakarewa | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kounga o mua | |||
| Mua | Si | ||
| Whakamutu mata | Si-mata CMP | ||
| Matūriki | ≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm) | NA | |
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter | Roa whakahiato≤2*Diameter | NA |
| Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga | Karekau | NA | |
| Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex | Karekau | ||
| Nga waahi polytype | Karekau | Horahanga whakahiato≤20% | Horahanga whakahiato≤30% |
| Tohu taiaho o mua | Karekau | ||
| Kounga Whakamuri | |||
| Mutunga tuara | C-kanohi CMP | ||
| Nga karawarawa | ≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter | NA | |
| He koha ki muri (nga maramara tapa) | Karekau | ||
| Te taratara o muri | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Te tohu taiaho tuara | 1 mm (mai i te taha o runga) | ||
| Tapa | |||
| Tapa | Chamfer | ||
| Te takai | |||
| Te takai | Epi-reri me te takai korehau Takai rīpene angiangi maha | ||
| *Tuhipoka: "NA" te tikanga karekau he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD. | |||
