8 Inihi N-momo SiC Wafer

Whakaahuatanga Poto:

Ko Semicera's 8 Inihi N-momo SiC Wafers kua hangaia mo nga tono tapahi-mata i roto i te hiko-hiko me te hiko teitei. Ko enei wafers e whakarato ana i nga taonga hiko me te waiariki, e whakarite ana i te mahi pai i roto i nga taiao e hiahia ana. Ka tukuna e Semicera nga mahi auaha me te pono i roto i nga rauemi semiconductor.


Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ko Semicera's 8 Inihi N-momo SiC Wafers kei mua i te mahi hou semiconductor, e whakarato ana i te turanga pakari mo te whanaketanga o nga taputapu hiko teitei. I hangaia enei wafers ki te whakatutuki i nga hiahia nui o nga tono hiko hou, mai i te hiko hiko ki nga iahiko teitei.

Ko te momo N-momo doping i roto i enei wafers SiC ka whakarei ake i o raatau hiko, he pai mo te whānuitanga o nga tono, tae atu ki nga diodes hiko, transistors, me te whakakaha. Ko te kaha o te kawe he iti te ngaronga o te kaha me te mahi pai, he mea tino nui mo nga taputapu e mahi ana i nga iarere teitei me nga taumata hiko.

Ka whakamahi a Semicera i nga tikanga whakangao matatau ki te whakaputa i nga angiangi SiC me te tino rite o te mata me nga hapa iti. He mea nui tenei taumata o te tino tika mo nga tono e hiahia ana kia rite te mahi me te mauroa, penei i nga umanga aerospace, miihini, me nga umanga waea.

Ko te whakauru i nga Wafers SiC 8 Inihi N-momo ki roto i to raina whakaputa he turanga mo te hanga i nga waahanga ka taea te tu ki nga taiao kino me te wera nui. Ko enei wafers he tino pai mo nga tono i roto i te hurihanga mana, te hangarau RF, me etahi atu mara tono.

Ko te whiriwhiri i te 8 Inihi N-momo SiC Wafers a Semicera ko te whakangao ki tetahi hua e whakakotahi ana i te puiao rauemi kounga teitei me te miihini tika. Kei te kaha a Semicera ki te whakatairanga i nga kaha o nga hangarau hiko, te tuku otinga hei whakarei ake i te pai me te pono o o taputapu hiko.

Nga taonga

Whakaputa

Rangahau

Porekau

Tawhā Kiriata

Polytype

4H

Hapa takotoranga mata

<11-20 >4±0.15°

Tawhā Hiko

Dopant

n-momo Nitrogen

Te ātete

0.015-0.025ohm·cm

Tawhā Hangarau

Diamita

150.0±0.2mm

Mātotoru

350±25 μm

Te takotoranga papa tuatahi

[1-100]±5°

Te roa papatahi tuatahi

47.5±1.5mm

Papatahi tuarua

Karekau

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Kopere

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Mua (Si-mata) taratara (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Hanganga

Kiato paipa moroiti

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Nga poke whakarewa

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Kounga o mua

Mua

Si

Whakaoti mata

Si-mata CMP

Matūriki

≤60ea/wafer (rahi≥0.3μm)

NA

Nga karawarawa

≤5ea/mm. Roa whakaemi ≤Diameter

Roa whakahiato≤2*Diameter

NA

Te kiri karaka/rua/wauwau/wauwau/kapiti/parahanga

Karekau

NA

Nga kongakonga taha/nuo/whawhati/papa hex

Karekau

Nga waahi polytype

Karekau

Horahanga whakahiato≤20%

Horahanga whakahiato≤30%

Tohu taiaho o mua

Karekau

Kounga Whakamuri

Mutunga tuara

C-kanohi CMP

Nga karawarawa

≤5ea/mm, Roa whakahiato≤2* Diameter

NA

He koha ki muri (nga maramara tapa)

Karekau

Te taratara o muri

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Te tohu taiaho tuara

1 mm (mai i te taha o runga)

Tapa

Tapa

Chamfer

Te takai

Te takai

Epi-reri me te takai korehau

Takai rīpene angiangi maha

*Tuhipoka: "NA" te tikanga kaore he tono Ko nga taonga kaore i whakahuahia ka pa ki te SEMI-STD.

hangarau_1_2_rahi
Nga angiangi SiC

  • Tōmua:
  • Panuku: