Ko te epitaxy LED kikorangi/matomato mai i semicera e tuku ana i nga otinga mo te hangahanga LED tino mahi. I hoahoatia hei tautoko i nga tukanga tipu epitaxial matatau, ko te hangarau epitaxy LED Blue/matomato a semicera e whakarei ake ana i te pai me te tika ki te whakaputa rama puru me te matomato, he mea nui mo nga momo tono optoelectronic. Ma te whakamahi i te ahua-o-te-toi Si Epitaxy me SiC Epitaxy, ma tenei otinga e whakarite te kounga pai me te mauroa.
I roto i te mahi hangahanga, he mahi nui a MOCVD Susceptor, me nga waahanga penei i te PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, me te RTP Carrier, e arotau ana i te taiao tipu epitaxial. Kua hangaia te epitaxy LED puru/matomato a Semicera ki te whakarato tautoko pumau mo te LED Epitaxial Susceptor, Barrel Susceptor, me te Monocrystalline Silicon, e whakarite ana i te whakaputanga o nga hua o te kounga teitei.
He mea nui tenei tukanga epitaxy mo te hanga i nga Waahanga Photovoltaic me te tautoko i nga tono penei i te GaN i runga i te SiC Epitaxy, hei whakapai ake i te pai o te hikohiko. Ahakoa i roto i te whirihoranga Pancake Susceptor, i whakamahia ranei ki etahi atu tatūnga matatau, ko nga otinga epitaxy LED Blue/matomato a semicera e tuku ana i nga mahi pono, e awhina ana i nga kaihanga ki te whakatutuki i te piki haere o te hiahia mo nga waahanga LED kounga teitei.
Āhuatanga matua:
1. Te teitei o te pāmahana aukati waiora:
he tino pai tonu te parenga waiora i te wa e teitei ana te pāmahana ki te 1600 C.
2. Te parakore teitei : i hangaia e te waipara matū matū i raro i te ahua o te maota o te pāmahana teitei.
3. Atete te horo: te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.
4. Te aukati waikura: te waikawa, te kawakore, te tote me nga reagents waro.
Nga Whakatakotoranga Matua oWhakakikorua CVD-SIC
| Nga Taonga SiC-CVD | ||
| Hanganga Kiriata | FCC β wāhanga | |
| Kiato | g/cm³ | 3.21 |
| Te pakeke | Vickers pakeke | 2500 |
| Rahi witi | μm | 2~10 |
| Te Maamaa | % | 99.99995 |
| Raukaha Wera | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Te Mahana Whakararo | ℃ | 2700 |
| Te Kaha Felexural | MPa (RT 4-point) | 415 |
| Young's Modulus | Gpa (4pt piko, 1300℃) | 430 |
| Roha Ngawha (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Te kawe werawera | (W/mK) | 300 |
