LPE Halfmoon Reaction Chamber

Whakaahuatanga Poto:

Ko te LPE Meniscus Reactor a Semicera i hangaia hei whakatutuki i nga mahi tino pai i roto i nga tono epitaxy wahanga wai (LPE). I hoahoatia tenei reactor matatau ki te whakahaere i te tipu o nga rauemi semiconductor kounga teitei, ina koa i roto i nga tukanga epitaxy SiC. I Semicera, ka aro nui matou ki te kounga me te pono o a maatau hua. Kei te tumanako matou ki te noho hei hoa mo te wa roa i Haina.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

I hoahoatia mo nga tono epitaxy wahanga wai (LPE), ko te LPE Meniscus Reactor a Semicera he hoahoa auaha e taea ai te pai.Ko nga paninga CVD SiCme te tautoko i nga momo tukanga epitaxy, tae atu ki te ASM epitaxy meMOCVD. Ko te hanga pakari o te LPE Meniscus Reactor me te miihini tika e whakarite ana i te pai o te whakahaere waiariki me te waiariki.

Kei te kaha a Semicera ki te whakarato i nga otinga tino mahi ki te umanga semiconductor. To tatouLPE Meniscus Reactorka hangaia me nga rawa roa me te miihini tika hei whakarite i te pono me te roa. Ko nga ahuatanga ahurei o tenei ruuma ka taea te whakahaere i te waiariki me te whakamaarama rite, ka waiho hei taonga nui mo tetahi taiwhanga, taiao whakaputa ranei.

Whiriwhiria te LPE Meniscus Reactor a Semicera hei whakarei ake i to epitaxialtukanga MOCVDme te whakatutuki i nga hua pai i roto i te waipara kiriata angiangi. Ko ta matou whakapau kaha ki te kounga me te auahatanga ka whakarite kia whiwhi koe i tetahi hua e tutuki ana ki nga paerewa umanga teitei.