RTPNga mowhiti CVD SiCe whakamahia nuitia ana i roto i nga mara ahumahi me te pūtaiao i roto i te pāmahana teitei me te taiao kino. He mea nui ki te hanga semiconductor, optoelectronics, miihini tika me te umanga matū. Ko nga tono motuhake ko:
1. Hangahanga Semiconductor:RTP CVD SiC mowhitiKa taea te whakamahi mo te whakamahana me te whakamahana o nga taputapu semiconductor, te whakarato i te mana o te pāmahana me te whakarite i te tika me te rite o te mahi.
2. Optoelectronics: Na te pai o te kawe i te waiariki me te aukati teitei o te pāmahana, RTPNga mowhiti CVD SiCka taea te whakamahi hei rauemi tautoko me te whakamahana wera mo nga lasers, nga taputapu whakawhitiwhiti muka me nga waahanga whatu.
3. Miihini tika: Ka taea te whakamahi i nga mowhiti RTP CVD SiC mo nga taputapu me nga taputapu i roto i te teitei o te wera me te taiao kino, penei i nga oumu wera teitei, nga taputapu korehau me nga reactors matū.
4. Ahumahi matū: Na te kaha o te waikura me te pumau matū, ka taea te whakamahi nga mowhiti RTP CVD SiC i roto i nga ipu, paipa me nga reactors i roto i nga tauhohenga matū me nga tukanga catalytic.
Pūnaha Epi
Pūnaha RTP
Pūnaha CVD
Mahinga hua:
1. Tutaki i te tukanga i raro i te 28nm
2. Super corrosion ātete
3. Mahi tino ma
4. Super pakeke
5. Kiato teitei
6. Te ātete teitei o te pāmahana
7. Whakamaua te aukati
Tono hua:
Ko nga taonga Silicon carbide nga ahuatanga o te pakeke teitei, te mau atete, te aukati waikura me te pumau o te pāmahana. Ko nga hua e tino pai ana te mahi matawhānui e whakamahia whānuitia ana i roto i te whakamaroke me nga tukanga TF/Diffusion.
Mahinga hua:
1. Tutaki i te tukanga i raro i te 28nm
2. Super corrosion ātete
3. Mahi tino ma
4. Super pakeke
5. Kiato teitei
6. Te ātete teitei o te pāmahana
7. Whakamaua te aukati
Te whanaketanga tukanga hiato:
• Whakakikorua Kauwhata +SiC
• Whakakotahitia te CVD SiC
• SiC+CVD kua titia
• SicSintered SiC
Te whanaketanga momo hua maha:
• Mowhiti
• Ripanga
• Kaipupuri
• Upoko ua
