SiC pania Susceptor hoki Deep UV-LED

Ko te Susceptor Whakakikoruatia a SiC mo te Ataahua e whakaatuhia ana e te UV-LED hohonu

Whakaahuatanga Poto:

Ko Semicera Energy Technology Co., Ltd. he kaiwhakarato matua mo nga karamu hiko semiconductor.Ko o tatou hua matua ko: Kopae raakau silicon carbide, waka waka waka carbide silicon, kaipuke angiangi silicon carbide (PV & Semiconductor), ngongo oumu carbide silicon, hoe carbide cantilever, silicon carbide chuck, silicon carbide beams, me nga paninga CVD SiC me TaC paninga.

Ko nga hua e whakamahia ana i roto i nga ahumahi semiconductor me te photovoltaic, penei i te tipu o te karaihe, te epitaxy, te etching, te takai, te paninga me te taputapu oumu diffusion.

Tukuna he imeera ki a matou

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Whakaahuatanga

Ka whakaratohia e to taatau kamupene nga ratonga tukanga whakakikorua SiC ma te tikanga CVD i runga i te mata o te kauwhata, nga karamu me etahi atu taonga, kia tauhohe nga hau motuhake kei roto i te waro me te silicon i te teitei o te pāmahana ki te whiwhi i nga ngota ngota SiC parakore teitei, nga ngota ngota ka waiho ki runga i te mata o nga mea pani, hanga paparanga tiaki SIC.

UV-LED-1

UV-LED-2

Nga waahanga matua

1. Te teitei o te wera o te waikura: he pai tonu te parenga o te waiora i te wa e rite ana te pāmahana ki te 1600 C.
2. Te parakore teitei : i hangaia e te waipara matū matū i raro i te ahua o te maota o te pāmahana teitei.
3. Atete te horo: te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.
4. Te aukati waikura: te waikawa, te kawakore, te tote me nga reagents waro.

Nga Whakatakotoranga Matua o te Whakakikorua CVD-SIC

Nga Taonga SiC-CVD
Hanganga Kiriata	FCC β wāhanga
Kiato	g/cm³	3.21
Te pakeke	Vickers pakeke	2500
Rahi witi	μm	2~10
Te Maamaa	%	99.99995
Raukaha Wera	J·kg-1 ·K-1	640
Te Mahana Whakararo	℃	2700
Te Kaha Felexural	MPa (RT 4-point)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt piko, 1300℃)	430
Roha Ngawha (CTE)	10-6K-1	4.5
Te kawe werawera	(W/mK)	300