Whakaahuatanga
MoCVD Whakawera Papanga, Huanga Whakawera Mo MOCVD
Whakawera kauwhata:
Ko nga waahanga whakamahana graphite e whakamahia ana i roto i te oumu teitei teitei me te pāmahana i tae ki te 2200 tohu i te taiao korehau me te 3000 tohu i roto i te taiao hau deoxidized me te whakauru.
Ko nga ahuatanga matua o te whakamahana kauwhata
1. ōritetanga o te hanganga whakawera.
2. pai te kawe hiko me te kawenga hiko teitei.
3. parenga waikura.
4. inoxidizability.
5. teitei matū matū.
6. kaha miihini teitei.
Ko te painga ko te kaha o te kaha, te utu nui me te iti o te tiaki.
Ka taea e tatou te whakaputa anti-oxidation me te roa o te ora graphite crucible, graphite pokepokea me nga wahi katoa o te whakamahana kauwhata.
Kauwhata matū
Painga: Te atete ki te pāmahana teitei
Taupānga: MOCVD / Umu wera / Rohe wera
Kiato rahi:1.68-1.91g/cm3
Te kaha whakaheke: 30-46Mpa
Te aukati: 7-12μΩm
Tawhā matua o te whakamahana kauwhata
| Whakatakotoranga Hangarau | VET-M3 |
| Kiato Nui (g/cm3) | ≥1.85 |
| Ihirangi pungarehu (PPM) | ≤500 |
| Te Maamaa o Takutai | ≥45 |
| Ātete Tauwhāiti (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Te Kaha Toka (Mpa) | ≥40 |
| Kaha Kōpeke (Mpa) | ≥70 |
| Max. Rahi witi (μm) | ≤43 |
| Te whakarea o te Roha Ngaaahu Mm/°C | ≤4.4*10-6 |
Ko te whakamahana kauwhata mo te oumu hiko he ahuatanga o te aukati wera, te aukati waiora, te pai o te kawe hiko me te kaha o te miihini. Ka taea e taatau te miihini nga momo whakamahana graphite e ai ki nga hoahoa a nga kaihoko.
Kōtaha Kamupene
Ko WeiTai Energy Technology Co., Ltd. he kaiwhakarato matua o nga karamu semiconductor matatau me te kaihanga anake i Haina ka taea te whakarato i nga wa ano he parapara silicon carbide (ina koa ko te Recrystallized SiC) me te paninga CVD SiC. I tua atu, kei te kaha ano ta matou kamupene ki nga mara karaera penei i te alumina, te nitride konumohe, te zirconia, me te nitride silicon, etc.
Ko o tatou hua matua tae atu ki: kopae etching silicon carbide, tow poti carbide silicon, wafer wafer silicon carbide (Photovoltaic&Semicconductor), ngongo oumu carbide silicon, te hoe carbide cantilever, chucks silicon carbide, silicon carbide beam, me te paninga CVD SiC me te TaC paninga. Ko nga hua e whakamahia ana i roto i te ahumahi semiconductor me te photovoltaic, penei i nga taputapu mo te tipu o te karaihe, te epitaxy, te tarai, te kapi, te paninga me nga oumu diffusion, etc.
Kei a taatau kamupene nga taputapu whakaputa katoa penei i te whakakikorua, te sintering, te tukatuka, nga taputapu whakakikorua, me etahi atu, ka taea te whakaoti i nga hononga katoa e tika ana mo te whakaputa hua me te kaha ake o te mana whakahaere o te kounga o te hua; Ko te mahere whakaputa tino pai ka taea te whiriwhiri i runga i nga hiahia o te hua, ka iti ake te utu me te whakarato i nga kaihoko ki nga hua whakataetae; Ka taea e taatau te whakarite i nga mahi hangai i runga i nga whakaritenga tuku ota me te hono atu ki nga punaha whakahaere ota ipurangi, ka tere ake te wa tuku ki nga kaihoko.
