Kopae Whakakikorua Silicon Carbide mo MOCVD

Ko teKopae Silicon Carbidemo te MOCVD mai i te semicera, he otinga mahi teitei i hangaia mo te tino pai i roto i nga tukanga tipu epitaxial. Ko te Semicera Silicon Carbide Disc e tuku ana i te tino pai o te waiariki me te tino tika, ka waiho hei waahanga nui i roto i nga tikanga Si Epitaxy me SiC Epitaxy. He mea hanga ki te tu atu ki nga wera teitei me nga tikanga tohe o nga tono MOCVD, ma tenei kōpae e whakarite te mahi pono me te roa o te oranga.

He hototahi to tatou Kopae Silicon Carbide me te whānuitanga o nga tatūnga MOCVD, tae atu kiMOCVD Susceptornga punaha, me te tautoko i nga tikanga matatau penei i te GaN i runga i te SiC Epitaxy. He pai hoki te hono ki te PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, me nga punaha RTP Carrier, hei whakanui ake i te tika me te kounga o to whakaputanga mahi. Ahakoa ka whakamahia mo te hanga Monocrystalline Silicon, mo nga tono Epitaxial Susceptor LED ranei, ma tenei kopae e whakarite nga hua tino pai.

I tua atu, ko te Silicon Carbide Disc a semicera he mea urutau ki nga momo whirihoranga, tae atu ki te Pancake Susceptor me te Barrel Susceptor setups, he ngawari ki nga taiao whakangao rereke. Ko te whakaurunga o nga Waahanga Photovoltaic ka whakawhānui ake i tana tono ki nga umanga hiko o te ra, ka waiho hei waahanga whai kiko me te mea nui mo te ao hou.epitaxialte tipu me te hanga semiconductor.