Ko te Solid SiC Focus Ring mai i Semicera he waahanga tapahi i hangaia hei whakatutuki i nga hiahia o nga mahi hangahanga semiconductor. He mea hanga mai i te parakore teiteiSilicon Carbide (SiC), he pai tenei mowhiti arotahi mo te maha o nga tono i roto i te ahumahi semiconductor, ina koa i roto iNga tukanga CVD SiC, te whakairo plasma, meICPRIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching). E mohiotia ana mo te kaha o te whakakakahu, te pumau o te waiariki, me te ma, ka whakapumau i te mahi roa i roto i nga taiao taumaha.
I roto i te semiconductorangiangite tukatuka, He mea nui nga Mowhiti Arotahi SiC mo te pupuri tika i te wa o te whakamaroke me te tono angiangi. Ko te mowhiti arotahi SiC e awhina ana ki te arotahi i te plasma i roto i nga mahi penei i nga mahi miihini miihini plasma, he mea nui ki te tarai i nga wafers silicon. Ko te papanga SiC totoka e tuku ana i te parenga kore ki te horo, te whakarite i te roanga o to taputapu me te whakaiti i te wa paheketanga, he mea nui hei pupuri i te whakaputanga teitei i roto i te hanga semiconductor.
Ko te Mowhiti Arotahi SiC Solid mai i Semicera he mea hanga ki te tu atu i te wera nui me nga matū pukuriri e kitea ana i roto i te umanga semiconductor. He mea hanga motuhake mo te whakamahi i nga mahi tino tika penei i teKo nga paninga CVD SiC, he mea nui te ma me te mauroa. Ma te pai o te atete ki te ru werawera, ma tenei hua ka whakarite kia rite tonu te mahi i raro i nga ahuatanga tino kino, tae atu ki te whakamohiotanga ki te wera nui i te waa.angianginga tukanga tarai.
I roto i nga tono semiconductor, he mea nui te tika me te pono, ko te Solid SiC Focus Ring te whai waahi nui ki te whakarei ake i te pai o nga mahi tarai. Ko tana hoahoa pakari, mahi-nui, he mea tino pai mo nga umanga e hiahia ana i nga waahanga parakore teitei e mahi ana i raro i nga ahuatanga tino kino. Ahakoa whakamahia i roto imowhiti CVD SiCKo nga tono, hei waahanga ranei o te tukanga tarai plasma, ka awhina a Semicera's Solid SiC Focus Ring ki te arotau i nga mahi o to taputapu, e tuku ana i te roa me te pono o to hiahia ki te whakaputa.
Āhuatanga matua:
• He pai ake te whakakakahu me te pumau o te waiariki
• Ko nga taonga SiC Maamaa teitei mo te roa o te oranga
• He pai mo te tarai plasma, ICP RIE, me nga tono whakamaroke maroke
• He tino pai mo te hanga angiangi, ina koa i roto i nga tukanga CVD SiC
• Mahinga pono i roto i nga taiao tino nui me te wera nui
• Ka whakarite i te tika me te whai hua ki te tarai i nga wafers silicon
Nga tono:
• Ko nga tukanga CVD SiC i roto i te hanga semiconductor
• Nga punaha tarai plasma me te ICP RIE
• Nga mahi tarai maroke me nga mahi angiangi
• Te tarai me te tuku i roto i nga miihini miihini plasma
• Nga waahanga tika mo nga mowhiti angiangi me nga mowhiti CVD SiC
Te ahua moroiti o te mata CVD SiC
Te ahua moroiti o te waahanga-whitinga CVD SiC
