SemiceraSilicon Carbide Ceramic paningahe paninga whakamarumaru tino mahi i hangaia mai i te mea tino uaua me te kakahu-atete kirikiri carbide (SiC). Ko te paninga kei te nuinga o te wa ka tukuna ki runga i te mata o te tïpako na te tukanga CVD, PVD ranei mematūriki carbide silicon, e whakarato ana i te pai o te waikura matū me te pumau o te pāmahana. Na reira, ka whakamahia nuitia te whakakikorua a Silicon Carbide Ceramic i roto i nga waahanga matua o nga taputapu hangahanga semiconductor.
I roto i te hanga semiconductor,paninga SiCKa taea e ia te tu atu ki te teitei o te pāmahana tae atu ki te 1600°C, no reira ko te Silicon Carbide Ceramic Coating ka whakamahia hei paparanga whakamarumaru mo nga taputapu, taputapu ranei hei aukati i te kino o te pāmahana teitei, te taiao kino ranei.
I taua wa ano,paninga uku hiraka carbideKa taea e ia te aukati i te horo o te waikawa, te kawakore, te waikura me etahi atu reagents matū, me te kaha o te waikura ki nga momo matū matū. Na reira, he pai tenei hua mo nga momo taiao kino i roto i te umanga semiconductor.
I tua atu, ka whakatauritea ki etahi atu rawa uku, he teitei ake te kawe o te waiariki a SiC ka taea te whakahaere wera. Ko tenei ahuatanga e whakatau ana i roto i nga tukanga semiconductor e hiahia ana ki te whakahaere i te pāmahana tika, ko te kaha o te wera wera oSilicon Carbide Ceramic paningaka awhina ki te whakamarara i te wera, te aukati i te wera o te rohe, me te whakarite kia mahi te taputapu i te pāmahana tino pai.
| Ko nga ahuatanga taketake o te paninga CVD sic | |
| Taonga | Uara Angamaheni |
| Hanganga Kiriata | FCC β wāhanga polycrystalline, te nuinga (111) hāngai |
| Kiato | 3.21 g/cm³ |
| Te pakeke | 2500 Vickers te pakeke (500g kawenga) |
| Rahi witi | 2~10μm |
| Te Maamaa | 99.99995% |
| Raukaha Wera | 640 J·kg-1·K-1 |
| Te Mahana Whakararo | 2700 ℃ |
| Te Kaha Toka | 415 MPa RT 4-tohu |
| Young's Modulus | 430 Gpa 4pt piko, 1300℃ |
| Te Whakawhitinga Ngawha | 300W·m-1·K-1 |
| Roha Ngawha (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
